最常見的金屬表面污染物種類包括顆粒、薄膜和分子污染物,它們可以是有機或無機污染物、離子污染物或者微生物污染物。其它種類的污染物還包括金屬、有毒和有害化學物質,放射性物質,以及被確認存在于特定行業表面上的生物物質等。金屬表面污染可以有多種形式,并且可以以不同的狀態存在于表面上。常見的污染源包括加工油和潤滑脂、液壓機液體和清洗液、黏合劑、蠟、人為污染物和微粒等。此外,來源眾多的其它化學污染物也可能會污染表面典型的清洗規格是根據清洗后表面殘留的特定或特有污染物的數量來確定的在精密技術領域,清潔度等級通常是專門針對顆粒制定的,也可以針對烴類污染物制定,用非揮發殘留物(NVR)來表示例如,世界各地的民用和軍用航天局,其空間硬件表面清潔度的標準特指單位面積內微米級顆粒的數量和每平方厘米范圍內NVR的微克數。清潔度等級是根據行業內建立的Iet-std-CC1246D污染水平標準而制定的,對顆粒分為1~1000級,對NVR則分為AA5級(0.1ng/cm2)至J級(0.025mg/cm2)在許多商業應用中,精密清潔度的標準被定義為有機污染物含量<10ug/cm2,盡管在許多應用中要求為1g/cm2。這些 金屬表面處理清洗劑清潔度等級通常是部件的功能所期望的或者要求達到的,相關部件包括金屬裝置、電子組件、光學和激光元件、精密機械零件和計算機部件等。